Источники микропотока являются сменными элементами термодиффузионных генераторов газовых смесей. Источник микропотока представляет собой ампулу с пронницаемой стенкой, заполненную жидкостью или сжиженным газом. При заданной температуре вещество диффундирует через стенку ампулы в поток газа- разбавителя с постоянной скоростью, характеризующейся производительностью источника.